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MEMS传感器浅析

2020-10-30
传感器技术是信息技术的三大支柱之一，是实现物联网和智能控制的关键技术。传感器技术发展到近代，出现了具备信息处理能力的智能传感器，它对外界信息具有一定检测、自诊断、数据处理以及自适应能力。随着5G万物互联时代的到来，智能传感器的产业前景十分广阔。根据Markets and Markets报告，全球智能传感器市场规模将从2020年的366亿美元达到2025年的876亿美元，年均复合增长率19.0% 。而融合了微机电和控制技术的MEMS传感器，是当前传感器的主流。
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